Система с избыточным давлением во взрывозащищенном исполнении для безопасной эксплуатации
Взрывоопасные среды в полупроводниковых чистых помещениях — не теоретический риск. Это ежедневная реальность на линиях мокрой обработки, CMP и подачи специальных газов. Там, где хлорид водорода, фтористый водород или силан…
